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净化车间的静电应该怎么预防和处理

发布时间:2019-03-11 点击次数:216

静电是净化车间最难控制的因素之一,静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的可靠性。因此,在半导体器件的生产中,所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。

  消除静电的方法很多,对有防静电环境要求的净化车间工程,常用以下几种方法:

  1、选用合适的材料:

  净化车间装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料,多种材料共同使用时,应选用在电序列表中位置接近的材料。所有的材料可归入电的导体或电的绝缘体。导体是电流能通过的材料,绝缘体是电流不能通过的材料。

  2、接地:

  接地是带电导体消除静电最为普遍、经济、简便、可靠的方法。

  (1) 净化车间内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。

  (2) 电子工业洁净室的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电装饰,可以抑制尘埃的带电吸附。

  (3) 工艺设备接地。

  (4)办公设备应采用能防静电的材料制成并接地。

  (5)工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。

  3、中和:

  将带电体(静电)周围的空气离子化后,带电的离子在电磁场作用下发生迁移,带电体吸引异性电荷达到中和而消除静电。静电消除器是一种能产生电 子和离子的装置,它产生的电子、离子与带电体上的异性电荷中和,从而消除静电。绝缘材料表面所带的静电荷、空气中的静电荷必须用静电中和的办法来消除。

  4、湿度控制:

  在众多消除静电的方法中,室内湿度控制也被认为可以用来减少和消除净化车间静电。通过在环境中保持高的相对湿度,在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层,利用这一薄层来提供导电的通道,使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。另外,薄薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性,摩擦生电也将减少。一般来说,湿度越低,产生的电荷越多。但是资料表明,甚至在湿度高时也会产生显著的静电电压,但是,在高湿度环境中,生产人员可能会感觉十分不舒服,零部件可能生锈,并产生可焊性问题。同时,企图用湿度控制来消除静电的方法显然是高耗费的,尤其在干燥地区更是如此。

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