净化车间如何消除静电？

静电是净化车间最难控制的因素之一，静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的可靠性。因此，在半导体器件的生产中，所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。

　　消除静电的方法很多，对有防静电环境要求的净化车间工程，常用以下几种方法：

　　1、选用合适的材料：

　　净化车间装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料，多种材料共同使用时，应选用在电序列表中位置接近的材料。所有的材料可归入电的导体或电的绝缘体。导体是电流能通过的材料，绝缘体是电流不能通过的材料。

　　2、接地：

　　接地是带电导体消除静电最为普遍、经济、简便、可靠的方法。

　　(1) 净化车间内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。

　　(2) 电子工业洁净室的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电装饰，可以抑制尘埃的带电吸附。

　　(3) 工艺设备接地。

　　(4)办公设备应采用能防静电的材料制成并接地。

　　(5)工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。

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